低温泵是一种气体吸附式的真空泵，主要用途为获得清洁的高真空环境，应用在科研、航天领域较多。
低温泵的启动需要满足其转换点，不能在大气环境下直接启动，必须有前级泵将真空室内压力抽到符合其转换点的情况才可以开始工作，一般在1-10Pa之间即可正常启动。比较常见的是使用螺杆泵+罗茨泵的前级真空机组抽气，也可以只使用螺杆泵进行前级抽气。此外，低温泵通常还需配置一个涡旋泵作为其再生使用。
标签：前级,真空泵,低温
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